19/04/18

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G+: Grupo de Microsistemas. Actuadores y Sensores - (Microsystems Actuators and Sensors Group). Univ. de Castilla - La Mancha, Ciudad Real

Contacto

José Luis Sánchez de Rojas Aldavero

Universidad de Castilla-La Mancha
ETSI Industriales,
Campus Universitario,
13071, Ciudad Real (España)
Teléfono:926/295300
Fax: 926/295361

joseluis.saldavero@uclm.es

www3.uclm.es/etsii-cr/grupos-de-investigacion

 

Miembros del grupo 

  • Prof. José Luis Sánchez de Rojas
  • Prof. Jorge Hernando
  • Prof. Javier Vázquez
  • Dr. Marta Gil Barba
  • Dr. Alberto Octavio Manzanares
  • Tomás Manzaneque
  • Victor Ruiz Díez
  • María Jesús Oliver
  • Francisco Jimenez Márquez
  • Javier Toledo Serrano

 

Objetivos y actividades

  • Diseño, caracterización y aplicaciones de Sistemas Micro/Nano-electromecánicos (MEMS/NEMS). 
  • MEMS piezoeléctricos. 
  • Sensores y transductores integrados y miniaturización de instrumentación orientados a aplicaciones diversas como química, biotecnología y tecnología de los alimentos. 


Breve descripción de medios

  • CAD comercial y propio para el diseño de microsistemas
  • Instrumentación para la caracterización eléctrica: impedancias, electroquímica, funciones de transferencia, amplificación, análisis de redes, procesado de señales, etc.
  • Instrumentación para la caracterización de MEMS en estática y dinámica hasta 240 MHz.
  • Técnicas para la funcionalización química de superficies
  • Sala Blanca de 30 m2, clase 1000, con:
  • Sistema sputtering de deposición de metales y aislantes
  • Sistema de nanolitografia nanoimprint.
  • Caja de manipulación con atmosfera inerte

 

Proyectos relacionados recientes:

  • DESARROLLO DE SISTEMAS MINIATURIZADOS PARA LA MONITORIZACIÓN DE PROPIEDADES DE LÍQUIDOS: APLICACIÓN A VINO Y ACEITE. Ref. DPI2012-31203. Duración: 3 años.
    INVESTIGADOR/A PRINCIPAL: JOSE LUIS SANCHEZ DE ROJAS ALDAVERO 
  • “DISEÑO Y CARACTERIZACIÓN DE MICROSENSORES MEMS RESONANTES PARA OPERAR EN MEDIO LÍQUIDO” REF. DPI2009-07497
    DURACIÓN: 3 AÑO/S: 2010/2012
    IP: JOSÉ LUIS SANCHEZ DE ROJAS ALDAVERO
  • “Sistemas Microelectromecánicos para la automatización, miniaturización y desarrollo de nanotecnologías”. Ref. PCC08-0015-0722. Proyecto coordinado con el Dpto. de Química Analítica de la Universidad de Castilla-La Mancha. Duración 2008-2010.
    I.P. José Luis Sánchez de Rojas
  • “Desarrollo de un array de microbalanzas piezoelectricas de AlN basado en MEMS para aplicaciones biológicas”
    Referencia Proyecto: DPI2006-01923. Ministerio de Educación y Ciencia. 2006-2009.
    I.P. José Luis Sánchez de Rojas
  • “Diseño y caracterización de MEMS para sensores y análisis químicos”
    PAC-05-001-2. Proyecto coordinado con el Dpto. de Química Analítica de la Universidad de Castilla-La Mancha.
    Duración 2005-2007.
    I.P. José Luis Sánchez de Rojas 
  • ‘Biochips de ADN con control electrónico’. DPI2003-02221. Duración 2003-2005.
    I.P. José Luis Sánchez de Rojas

 

Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes

  • A. Ababneh, M. Alsumady, H. Seidel, T. Manzaneque, J. Hernando-García, J.L. Sánchez-Rojas, A. Bittner, U. Schmid 
    C-axis orientation and piezoelectric coefficients of AlN thin films sputter-deposited on titanium bottom electrodes.
    Applied Surface Science 259 (2012) 59– 65.
     
  • F. Jiménez-Márquez, J. Vázquez, J. Úbeda, J.L. Sánchez-Rojas.
    Low-cost and portable refractive optoelectronic device for measuring wine fermentation kinetics.
    Sensors and Actuators B 178 (2013) 316– 323.
     
  • D. Matatagui, J. Fontecha, M.J. Fernandez, M.J. Oliver, J. Hernando-Garcıa, J.L. Sanchez-Rojas, I. Gracia, C. Cane, J.P. Santos, M.C. Horrillo,
    Comparison of two types of acoustic biosensors to detect immunoreactions: Lovewave sensor working in dynamic mode and QCM working in static mode, Sensors and Actuators B: Chemical (2013), doi:10.1016/j.snb.2013.02.003.
     
  • V Ruiz-Díez, T Manzaneque, J Hernando-García, A Ababneh, M Kucera, U Schmid, H Seidel and J L Sánchez-Rojas
    Design and Characterization of AlN-Based In-plane Microplate Resonators J. Micromech.
    Microeng. 23 (2013) 074003. doi:10.1088/0960-1317/23/7/074003.
     
  • D. Ruiz  J.C. Bellido  A. Donoso  J.L. Sanchez-Rojas.
    Design of in-plane piezoelectric sensors for static response by simultaneously optimizing the host structure and the electrode profile
    Structural and Multidisciplinary Optimization DOI 10.1007/s00158-013-0923-8.
     
  • M. Gil, T. Manzaneque, J. Hernando-García, A. Ababneh, H. Seidel, J. L. Sánchez-Rojas
    Multimodal characterisation of high-Q piezoelectric micro-tuning forks.
    IET Circuits Devices Syst., pp. 1–7 1. doi: 10.1049/iet-cds.2012.0325 
  • M Kucera, T Manzaneque, J L Sanchez-Rojas, A Bittner and U Schmid
    Q-factor enhancement for self-actuated self-sensing piezoelectric MEMS resonators applying a lock-in driven feedback loop
    J. Micromech. Microeng. 23 (2013) 085009 doi:10.1088/0960-1317/23/8/085009
  • T. Manzaneque, J. Hernando, L. Rodríguez-Aragón, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, J.L. Sánchez-Rojas "Analysis Of The Quality Factor Of AlN-Actuated Micro-Resonators In Air And Liquid"
    Microsystem Technologies 16, 837-845 (2010).
  • J. Hernando, J.L. Sánchez-Rojas, U. Schmid, A. Ababneh, G. Marchand, H. Seidel
    Characterization and displacement control of low surface-stress AlN-based piezoelectric micro-resonators.
    Microsystem Technologies 16, 855-861 (2010).
  • Jordi Ricart, Joan Pons-Nin, Elena Blokhina, Sergi Gorreta1, Jorge Hernando, Tomas Manzaneque, Jose Luis Sanchez-Rojas, Orla Feely, Manuel Dominguez.

  • Control of MEMS vibration modes with Pulsed Digital Oscillators: Part II — Simulation and experimental results.
    IEEE Transactions on Circuits and Systems I 57, 1879-1890 (2010).
  • R. Paul Wali, Paul R. Wilkinson, Sarayoot Paul Eaimkhong, Jorge Hernando-Garcia, Jose Luis Sánchez-Rojas, Abdallah Ababneh, James K. Gimzewski
    Fourier transform mechanical spectroscopy of micro-fabricated electromechanical resonators: A novel, information-rich pulse method for sensor applications
    Sensors and Actuators B: Chemical 147, 508-516 (2010).
  • J. L. Sanchez-Rojas, J. Hernando, A. Donoso, J. C. Bellido, T. Manzaneque, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid
    Modal optimization and filtering in piezoelectric microplate resonators
    J. Micromech. Microeng. 20 (2010) 055027 (7pp)
  • A. Ababneh, U.Schmid, J.Hernando, J.L.Sánchez-Rojas, H.Seidel
    The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films
    Materials Science and Engineering B 172, 253-258 (2010).
  •  T. Manzaneque, J. Hernando-García, A. Ababneh, P. Schwarz, H. Seidel, U. Schmid, J. L. Sánchez-Rojas,
    “Quality-factor amplification in piezoelectric MEMS resonators applying an all-electrical feedback loop”
    Journal of Micromechanics and Microengineering 21 (2011) 025007
  • M. J. Oliver, J. Hernando-García, P. Pobedinskas, K. Haenen, A. Ríos, J. L. Sánchez-Rojas,
    “Oxidized chromium thin films as a reusable platform for immunosensing”
    Colloids and Surfaces B: Biointerfaces 88 (2011) 191– 195
  •  M. Gil, T. Manzaneque, J. Hernando-García, A. Ababneh, H. Seidel, J. L. Sánchez-Rojas.
    “Selective modal excitation in coupled piezoelectric microcantilevers”
    Microsyst. Technol. DOI 10.1007/s00542-011-1411-y. pp 1-9, 2012
  • Ruiz V., Hernando-García J., Ababneh A., Seidel H., Schmid U., Sánchez-Rojas J. L.
    "Modelling and characterization of AlN-actuated microcantilevers vibrating in the first in-plane mode"
    Microsyst Technol. DOI 10.1007/s00542-012-1428-x 
  • M. J. Oliver, J. Hernando-García, A. Ababneh, H Seidel, U. Schmid, J. P. Andrés, P. Pobedinskas, K. Haenen, and J. L. Sánchez-Rojas
    “Resonantly Excited AlN-based Microcantilevers for Immunosensing”
    Microsyst Technol. DOI 10.1007/s00542-012-1444-x 
  • T. Manzaneque, V. Ruiz, J. Hernando-García, A. Ababneh, H. Seidel et al.
    “Characterization and simulation of the first extensional mode of rectangular micro-plates in liquid media”
    Appl. Phys. Lett. 101, 151904 (2012); doi: 10.1063/1.4758470
 

 
Microsistemas
comb-drive accelerometer compared with the head of an ant

 

 





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